服務項目

氣態分子污染(AMCs)處理技術

濕膜洗滌塔吸收技術

特點：

1. 適合潔淨室PPB等級濃度親水性AMCs處理需求。
2. 以去離子水或市水做為吸收液，不需要添加任何化學藥品，符合綠色環保科技的國際趨勢。
3. 使用經驗非常豐富，包括台積電、高通光電、友達光電及昆山中辰矽晶等，都是採用此技術；對於NH3、HF、H2SO4、H3PO4及HNO3等AMCs都有很好的處理效率。
4. 對於外氣中≦1μm微粒(fine particles)也有很好的處理效率(≧99%)。
5. 應用領域包括IC半導體產業(次微米及奈米製程)、TFT-LCD產業及生技產業等。